licat 质量流量计和控制器可以测量或控制超过 98 种气体,具有 NIST 可追溯的精度。在本文中,我们将讨论 Alicat 如何在如此广泛的气体中保持高精度测量。
Alicat 设备预装了 3 维气体特性数据
Alicat 质量流量仪每秒报告一千次压力和温度读数。这些读数与预加载气体表中的特定数据点相关,其中包含来自 3 维气体属性数据的值。该 3D 表面绘制了 Alicat 质量流量设备整个可用范围内的 NIST 可追溯气体特性数据,用于压力和温度的压缩性和粘度。
例如,假设您的设备设置为流动氩气。无论是在 2 bar 和 23°C动,还是在 6 bar 和 37°C动,氩气的流动精度都可达到读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%。
开关气体
每个设备都包含用于 98+ 气体的预装气表。如果您想使用上面的设备来流动空气而不是氩气,您只需在“气体选择™”菜单中选择空气,它就会更改再隔离气体属性表。
只要选择正确的气体,就可以使用单个设备在广泛的温度和压力范围内测量氩气、空气或其他 96+ 气体之一,而精度不会改变。
NIST 可追溯性
一家独立的校准机构使用空气校准的 Alicat 设备来测量 NIST 可追溯的 12% CO 的 3 种气体混合物2+ 7% O2+ 81% 氮2.
总测量误差仅为满量程读数的 0.15%,该值完全符合已公布的质量流量计精度规格。
热器件和 K 因子
热质量流量控制器也能够流动多种气体,但精度各不相同。想象一下,您有一个经过校准的热流控制器可以流动氩气。要测量空气流量,您必须在制造商的 K 系数表中找到空气,并将此转换系数乘以氩气校准的流量读数。
K 因子对于特定的温度和压力条件是准确的。这意味着偏离 K 因子图表中定义的作条件将导致流量校正精度降低。因此,许多热式质量流量仪器制造商在使用 K 因子时提供的精度规格要低得多。
结论
使用 Alicat 质量流量仪器,您可以在 98+ 种气体之间进行切换,而不会损失任何测量或控制精度。