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气体流量控制器

常规

适用于气体质量流量的测量和控制

控制气体进入生物反应器 + 发酵罐

BIOC 生物系列

长期稳定性
坚固、合规的材料，包括 USP VI 级或 USPVI 弹性体
专为可扩展性而设计（10,000：1 工作范围）

使用多个设备节省空间

双阀

精度为读数的 1.5% 或满量程的 0.2%，以较大者为准
集成比例控制阀
快至 100 ms 的控制响应
LED灯指示状态更方便
轻松实现自动化
根据您的流程构建
轻松连接到 PC 或 PLC

使用多个设备节省空间

BASIS 系列紧凑型加气模块

精度为读数的 1.5% 或满量程的 0.2%，以较大者为准
集成比例控制阀
快至 100 ms 的控制响应
LED灯指示状态更方便
轻松实现自动化
根据您的工艺流程定制
轻松连接到 PC 或 PLC

紧凑型质量流量控制器

热式B 系列

精度为读数的 1.5% 或满量程的 0.2%，以较大者为准
集成比例控制阀
快至 100 ms 的控制响应
LED灯指示状态更方便
轻松实现自动化

Alicat的旗舰控制器

常规MC 系列

0.5 SCCM 满量程 – 12,000 SLPM 满量程（可选）
工作压力：11.5 – 160 PSIA
精度±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
0.01% – 100% 控制范围（10,000：1 量比）
最快 30 ms 的控制响应

耐腐蚀

适用于腐蚀性气体质量流量的测量和控制

耐腐蚀真空质量流量控制器

MCVS 系列

0.5 SCCM 至 20 SLPM 满量程范围
有效控制范围：满量程的 1% – 100%
精度高达 ±读数的 0.4% 和 ± 满量程的 0.2%
兼容气体：128+ 预装气体，校准可选
气动阀泄漏完整性：最大1 x 10^-9ATM-CC/秒氦气
重复性：± 0.2% 的满量程

真空下耐腐蚀的 SEMI 规格气体控制

MCES 系列

0.5 SCCM 至 20 SLPM 满量程范围
有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 量程比）
精度达 ±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）
128+ 预装气体（校准可选）
重复性：±满量程的 0.2%
工作温度：−10°C 至 +60°C

在连续爆炸性气体环境中实现耐腐蚀气体流量控制

ISMCS 系列

预装 128 种气体校准，包括腐蚀性物质
0.5 SCCM – 250 SLPM满量程范围
工作压力范围：11.5 – 160 PSIA（可选320 PSIA 高压）
精度高达 ±读数的 0.4% 和 ± 满量程的 0.2%

耐腐蚀流量控制器

MCS 系列

预装多达 130 种腐蚀性和非腐蚀性气体校准
0.5 SCCM 满量程 – 12,000 SLPM 满量程（可选）
精度高达 ±读数的 0.4% 和 ± 满量程的 0.2%
满量程控制范围的 1 – 100%
最快 30 ms 的控制响应

高压

适用于高压环境气体质量流量的测量和控制

在较高压力下控制气体流量

MCQ 系列

10 SCCM 满量程 – 12,000 SLPM 满量程（可选）
工作压力：11.5 – 320 PSIA
精度：±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
有效控制范围：满量程的0.5% – 100%（200：1 量程比）
100 ms 控制响应

低压损

用于低压降气体质量流量的测量和控制

用于低压降的气体控制

MCW 系列

0.5 SCCM – 1,000 SLPM （可选）
最大工作压力：60 PSIA
精度：±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
有效控制范围：满量程的 0.5 – 100%（200：1 量程比）
30 ms 控制响应

防爆安全

具有多种防爆认证的气体质量流量测量和控制

连续爆炸性气体环境中的高压质量流量控制

ISMCQ 系列

质量流量控制器
预装 98 种气体校准
10 SCCM – 2 SLPM
工作压力：11.5 – 320 PSIA
精度：±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
请参阅下面的证书

连续爆炸性气体环境中的超低压降质量流量控制

ISMCW Whisper™ 系列

质量流量控制器
预装 98 种气体校准
0.5 SCCM – 50 SLPM
工作压力：60 PSIA
精度：±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
0.7 PSID 最小压降

在连续爆炸性气体环境中实现耐腐蚀气体流量控制

ISMCS 系列

预装 128 种气体校准，包括腐蚀性物质
0.5 SCCM – 250 SLPM满量程范围
工作压力范围：11.5 – 160 PSIA（可选320 PSIA 高压）
精度高达 ±读数的 0.4% 和 ± 满量程的 0.2%

用于连续爆炸性气体环境中的气体流量控制

ISMC 系列

预装 98 种气体校准
0.5 SCCM – 250 SLPM
11.5 – 160 PSIA（可选320 PSIA 高压）
流量精度: ±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准

便携

手持带电源的流量测量与校准装置

气体流量便携式校准装置

PCU 系列

坚固的工业便携箱
最高 500 SLPM
高达 100,000：1 的工作范围
NIST 可追溯校准证书
简单的推入式或压缩式接头
用于连接计算机的 USB A-B 电缆
由 4 节 AA 电池或随附的 AC/DC 电源适配器供电
请注意：PCU 无法重新校准 Alicat 仪器。如需每年重新校准，请将您的 Alicat设备发送到您当地的服务中心。

用于颗粒物空气采样器的流量校准器

FP-25 系列

便携式
提供蓝牙连接
实时流量、压力和温度读数
IP67 防护等级
工作温度： −30°C – 60°C
精度为读数的 1%