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气体流量计

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适用于大多数气体测量

层流 M 系列

  • 0.5 SCCM – 12,000 SLPM （可选）
  • 工作压力：11.5 – 160 PSIA
  • 精度高达 ±读数的 0.5%
  • 重复性：±（读数的 0.1% + 满量程的 0.02%）
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参数规格
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超紧凑，适合 OEM 应用

热式 Basis 系列

  • 9 种气体可选
  • 100 SCCM – 100 SLPM 满量程
  • 工作压力： 0 – 145 PSIG
  • 可用作歧管充气阵列
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支持

层流 M 系列

热式 Basis 系列

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